[1]
„Thermal Decomposition of Hafnium Ethoxide-Mollecular Precursor for Hafnia Dielectric Thin Films“, Ann_UGAL_MMS, Bd. 35, Nr. 3, S. 73–77, Sep. 2012, Zugegriffen: Nov. 02, 2026. Verfügbar unter: https://ojs.ugal.ro/index.php/mms/article/view/2885